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激光測厚技術(shù)在液晶玻璃基板生產(chǎn)中的應(yīng)用

來源:玻璃雜志 作者: 姚文龍、何懷勝 2019/3/25 10:50:25

19406次瀏覽

中玻網(wǎng)】液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴(yán)格、設(shè)備精度要求高,傳統(tǒng)的接觸式測厚裝置已無法滿足當(dāng)前生產(chǎn)要求。激光測厚裝置的應(yīng)用有效彌補(bǔ)了接觸式測厚裝置的不足,以玻璃基板厚度為研究對象,對激光測厚系統(tǒng)在液晶玻璃基板中的應(yīng)用進(jìn)行分析。

  激光測厚儀簡介:激光是由激光器產(chǎn)生的一種特殊的平行光束,它具有方向性強(qiáng)、亮度高、顏色純、光脈沖寬度窄等優(yōu)異物理特性。激光在線測厚儀一般是由兩個(gè)激光位移傳感器上下對射的方式組成,上下的兩個(gè)傳感器分別測量玻璃基板上表面的位置和下表面的位置,通過計(jì)算機(jī)計(jì)算得到玻璃基板的厚度。激光測厚裝置的控制原理如圖1所示,激光測量原理如圖2所示。

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  圖1激光測厚裝置控制原理圖

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  圖2激光測量原理圖

  工作原理:激光在線測厚儀有兩種檢驗(yàn)方式,分別為雙面激光檢驗(yàn)(2個(gè)激光三角測量傳感器)和單面貼輥檢驗(yàn)(1個(gè)激光三角測量傳感器),兩種檢驗(yàn)方式都是通過測量傳感器到被測材料表面的距離。根據(jù)設(shè)計(jì)要求,一個(gè)附加的傳感器,通常是高準(zhǔn)確渦輪傳感器,用來測量雙面?zhèn)鞲衅髦g的距離或者測量單面?zhèn)鞲衅鞯絽⒖嘉镏g的距離。激光在線測厚系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于采用非接觸的測量,相對接觸式測厚儀更準(zhǔn)確,不會(huì)因探頭磨損而損失精度。

  傳統(tǒng)測厚技術(shù)的缺點(diǎn):(1)測量頻次低,目前其測量頻次為每5張測量1次,每次測量用時(shí)8~10 s,不能實(shí)時(shí)反映每張玻璃基板厚度的真實(shí)情況,(2)數(shù)據(jù)失真率大,造成數(shù)據(jù)采集失真率大,不能完全真實(shí)反映玻璃基板厚度品質(zhì)。(3)消耗費(fèi)用大,由于采用固定式接觸位置傳感器,導(dǎo)致位置傳感器磨損加快,更換周期縮短等。

  激光在線測厚技術(shù)的優(yōu)點(diǎn):(1)在線實(shí)時(shí)監(jiān)測,其是采用一個(gè)激光探測器組成的監(jiān)測系統(tǒng),測量速度快,能完全做到滿足1張1測的需求,保證了液晶基板玻璃厚度品質(zhì)的實(shí)時(shí)監(jiān)測。(2)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析,該系統(tǒng)計(jì)算出每點(diǎn)厚度值及坐標(biāo)位置,并傳送到顯示模塊中,再根據(jù)每一張厚度變化趨勢,系統(tǒng)判定后續(xù)玻璃基板厚度變化趨勢,為工藝人員提供厚度調(diào)整方向。(3)異常啟動(dòng)緊急信號,可以人工設(shè)置厚度波動(dòng)范圍的上下限,對超出設(shè)定范圍內(nèi)的異常厚度基板進(jìn)行啟動(dòng)緊急信號,工作人員能在第1時(shí)間發(fā)現(xiàn)異常,縮短異常處理時(shí)間,避免異常厚度品質(zhì)基板漏檢,減少產(chǎn)品浪費(fèi),且該系統(tǒng)還能對異常產(chǎn)品進(jìn)行定位隔離。(4)單點(diǎn)之間測量間隔距離可控調(diào)節(jié),激光測厚容量大,數(shù)據(jù)處理快,單點(diǎn)之間測量間隔距離能實(shí)現(xiàn)可控調(diào)節(jié),間隔距離能準(zhǔn)確至1mm,較大提升測量精度的同時(shí)有效避免因測量間距原因造成局部厚度異常導(dǎo)致漏檢發(fā)生。

  激光技術(shù)作為高新技術(shù),近十幾年來在液晶玻璃基板行業(yè)中的應(yīng)用實(shí)例越來越多。例如:激光校正技術(shù)應(yīng)用在成型爐體安裝中心校正上;激光切割技術(shù)應(yīng)用在玻璃基板在線切割上,替代橫切刀切割,減少玻璃粉塵的產(chǎn)生;紅外熱成像技術(shù)應(yīng)用在高溫爐體內(nèi)部設(shè)備缺點(diǎn)判定,可根據(jù)熱成像其溫度場的分布、測量任何部分的溫度值,對各種外部及內(nèi)部故障進(jìn)行診斷等等。

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